| 网页标题 | 等离子刻蚀机(国产等离子刻蚀机)|沛沅百科 |
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| 网页关键词 | **等离子刻蚀机原理 |
| 网页描述 | **等离子刻蚀机是基于等离子体物理原理的微纳加工设备，等离子体是由高能粒子(如电子)与气体分子碰撞而产生的高能量、高密度的气体态物质。工作时，首先将待加工材料置于真空室中，并通过高频辐**场或外加电压产生的放电使气体分子形成等离子体。在等离子体的作用下，高能离子与反应气体中的分子、原子相互作用，从而对材料表面进行化学反应或物理剥离，实现微小结构的制备与加工。 |
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