| 网页标题 | 等离子去胶机(等离子态)百科 |
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| 网页关键词 | 等离子去胶机的介绍 |
| 网页描述 | 等离子去胶机是一种环保的半导体制程前减薄过程中清洗化学机械研磨残胶的设备，主要应用于集成电路制造业、光电子工业及液晶显示器行业。等离子去胶机以气体放电为驱动力，在实验室里常用非惰**气体，如纯氧、氮和氦。 |
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