| 网页标题 | 美国真空学会会... | 获奖·成果等 | 东北大学 -TOHOKU UNIVERSITY- |
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| 网页描述 | 本校流体科学研究所的寒川诚二教授,荣获美国真空学会会员表彰。这次成为获奖对象的业绩,是阐明了半导体器件制造中,关键技术的等离子刻蚀工艺对基板造成的损伤,并对可实现最小限度地抑制该损伤的高精度加工的方法... |
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